平面位置安装基准线与基础实际轴线或厂房墙（柱）的实际轴线、边缘线的距离，其允许偏差为±20mm。
设备定位基准面、线或点对安装基准线的平面位置和标高的允许偏差如下：
| 项 目 | 允许偏差（mm） | |
| 平面位置 | 标高 | |
| 与其它设备无机械联系 | ±10 | +20 -10 |
| 与其它设备有机械联系 | ±2 | ±1 |
土建交付的基础，应标有清晰的纵横向轴线，标高基准点，各项预埋件，预留孔洞，地脚螺栓孔的中心线位置应标志清楚，且应提交中间交接证书，具有标高、中心及各部位尺寸的实测记录。
对基础外观进行宏观检查，不得有裂纹、蜂窝、空洞、露筋等缺陷。
按基础图和随机技术文件，对基础的外形尺寸，坐标位置进行复测检查，其允许偏差符合下表规定：
| 项次 | 项目名称 | 允许偏差（mm） |
| 1 | 坐标位置（纵横轴线） | ±20 |
| 2 | 不同平面的标高 | -20 |
| 3 | 平面外形尺寸 | ±20 |
| 凸台上平面外形尺寸 | -20 | |
| 凹穴尺寸 | +20 | |
| 4 | 平面的水平度 | |
| (1)每米 | 5 | |
| (2)全长 | 10 | |
| 5 | 垂直度 | |
| (1)每米 | 5 | |
| (2)全长 | 10 | |
| 6 | 预留地脚螺栓孔 | |
| (1) 中心位置 | ±10 | |
| (2) 深度 | +20 | |
| (3) 孔壁铅垂直度每米 | 10 |
放置垫铁组处的混凝土面必须凿平，接触面积不小于75%且均匀。
二次灌浆基础表面铲成麻面，铲成麻面的方法是由钢扁铲在基础表面上铲出一个一个的凹坑，其直径约30~50mm，凹坑的距离按地基的大小而有不同，一般为150mm左右，基础的边角处应铲出缺口。
设备基础表面和地脚螺栓预留孔中的油污、碎石、泥土、积水等清除干净。